准分子激光器用途日益扩大:lol竞猜

产品中心 | 2021-01-29

准分子激光具有独特的材料加工特性,其应用范围越来越扩大。 与其他气体激光不同,准分子激光在应用方面的数量和种类大幅增加。 这是因为受激准分子激光具有独特的特性和性能,受激准分子激光可以满足很多材料加工的需要。

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其独特的特性也很好地应用于新技术中。 现在主要适用于1 )材料的手术2 )光学材料的加工,特别是纸带、划线、微细加工、其他加工,在这些加工中,特征尺寸变大,远远超出了机械加工的范围。

准分子材料手术的本质是光激光,完全没有热影响区域,而且用于准分子时,切口干净,轮廓清晰。 这些特征适合开展亚微米范围的微细加工。 另外,短波长的紫外线(UV )准分子电磁辐射容易被很多材料吸收,可以有效地加工成硬质材料(例如硅或陶瓷)和软质聚合物。

紫外准分子激光的波长范围宽意味着著,基本上需要对必须加工的材料寻找合适的波长。 大型多模式平顶准分子束可以实现大面积图案制作所需的波束整形和掩模技术,进一步提高加工效率,得到简单的三维图案。

目前准分子激光有LASIK眼科手术、平板显示器热处理、半导体显微光刻三个主要用途。 但是,准分子市场的其他部分也是最重要的,包括很多不同的加工和行业,从在眼镜上打字到柴油机缸套的加工,电子工业中的纸带都被用于这项技术。 但是,这三个主要应用有专业的模型,这些模型被优化以满足业界经常建立的性能参数,在许多不同的应用中对激光条件有普遍而多样的拒绝。 这是因为,对于等价的材料和波长,为了展开有效的材料加工,必须在主要的准分子激光性能、脉冲能量(对加工对象的影响)、重复频率之间取得正确的平衡。

能量和重复频率哪个可以自由选择? 最初,大部分工业准分子激光的主要特征是,在适当的重复频率(数百Hz )下,激光脉冲能量高(数百mJ )。 或者在低重复频率(100Hz-2Hz )下能量为数mJ。 但是,平板显示器生产中的低温多晶硅(LTPS )热处理技术的成熟期,推进了高重复频率(约300Hz )、低脉冲能量(1J )激光的发展,这些技术现在也应用于微细加工。

例如,需要在薄膜上展开图案的处理,这主要被用作电子工业。 另一个最重要的方向是节约成本的小准分子激光器的开发和进步,该激光器得到的激光能量约为10mJ,重复频率的最大值在数百Hz以上,光束高度只有9-10mm,装置整体较小。 现在这些激光的运营非常昂贵。

其主要变革是因为电极(管)的寿命长,整体效率高,补充气体的间隔宽。 另外,这些激光器可以用于气体量更少、小径的光束传输装置。

从自己的性能准分子激光输入的矩形光束可以按以下尺寸超过几厘米。 该特性通过组合准分子激光的高脉冲能量和低重复频率,准分子激光适合与光掩模技术融合,大范围加工,得到大量的重复图案。 对此,许多固体激光器得到的光束一般被研究为小光点,之后用振动反射镜扫描。 该技术被称为必须装载法,必要装载法具备的点状本质具有园晶的刻划和晶粒的切断等特有的适用范围。

但是,需要载入没落加工的缺点是,小光束的顺序扫描不会留下缝隙,因此无法在相同深度去除小面积的材料。|lol竞猜。

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